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产品描述
1.磨刀板的作用
r磨刀板可以替代晶圆假片用来磨利切割刀片
r比起传统的使用硅片磨刀方法,显著提高切割机的工作效率
r只需几分钟,就可完成磨利刀片,同时通过提高切割效率来节省物料成本
2. 为何使用磨刀板?
r磨刀板可以在新的晶圆切割刀片使用前使用来提高刀片的锐度
r安装新的刀片 → 磨刀→ 切割晶圆
r-新刀片经过磨刀程序后,使金刚石表面凸起的地方平滑,
r从而防止晶圆切割毛边或者裂纹
3. 优势——节省成本
比起传统的硅片切割磨刀的方式,磨刀板能极大缩短磨刀的时间,提高磨刀的效率。
磨刀物料 |
单位磨刀数量 |
磨刀道数 |
磨刀时间 |
硅晶圆假片 |
1-2片 (1切割刀片需要损耗½或者1片硅晶圆片) |
200~400 道 |
20~30 分钟 |
磨刀板 |
15 ~ 20 片 (1块磨刀板能磨15-20片切割刀片) |
15~30 道 |
1~2 分钟 |
5. 磨刀后刀片表面效果
r磨刀板显示同硅片磨刀同样甚至更优的效果
r磨刀板磨刀后刀片表面状况
p晶圆假片磨刀后刀片表面状况